Projekt

OGAPLAS - Optimierung der Gasausnutzung bei Atmosphärendruck-Plasmaprozessen

LARGE - Lineare Plasmaquelle
© Foto Fraunhofer IWS Dresden

LARGE - Lineare Plasmaquelle

© Foto Fraunhofer IWS Dresden / Jürgen Jeibmann

PECVD bei Atmosphärendruck mittels LARGE-Plasmaquelle

Atmosphärendruck-Plasmaprozesse – eine Schlüsseltechnologie für eine Vielzahl unterschiedlicher Anwendungsgebiete

Im Rahmen des Forschungsclusters OGAPLAS (OPTIMIERUNG DER GASAUSNUTZUNG BEI ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAPROZESSEN) erfolgen die grundlegenden Untersuchungen verschiedener Atmosphärendruck-Plasma-Prozesse (AP-Plasma-Prozesse), um die weitere Verbreitung dieser Technologie sowie die damit verbundenen Marktchancen zu unterstützen. Die potentiellen Anwendungsgebiete von AP-Plasma-Prozessen reichen von der Elektronik, über Automobilbau, Photovoltaik bis zur Medizin.

Zielvorgaben

  • Reduzierung Gasverbrauch
  • erhöhte Ausnutzung der Ausgangsstoffe
  • Entwicklung von Methoden zum Gasrecycling

Für das Erreichen der gesetzten Zielstellungen ist die Kooperation von interdisziplinär aufgestellten Wissenschaftlern der Arbeitsgebiete:

  • Plasmaphysik und -technik
  • Oberflächentechnik
  • Maschinenbau
  • Chemie

innerhalb des Clusters erforderlich. Dabei wird die Zusammenarbeit der Partner in den Bereichen Forschung, Ausbildung, Infrastruktur und Verwaltung effizient kombiniert. Die Projektleitung des AiF/DFG-Gemeinschaftsvorhabens obliegt Prof. Eckhard Beyer vom Institut für Fertigungstechnik (IF) der Technischen Universität Dresden (TUD). Die Projektleiter der insgesamt acht Teilprojekte sind erfahrene Wissenschaftler, die bereits erfolgreich nationale und internationale Projekte geleitet haben.

AP-Plasmen werden trotz ihrer hohen technologischen und ökonomischen Potenziale und einiger beispielhafter Produktionsanwendungen bislang noch zu wenig industriell eingesetzt. Hauptursache dafür ist ein ungenügendes Verständnis der komplexen im Plasma ablaufenden Prozesse mit den daraus resultierenden anwendungshemmenden Nachteilen, wie z. B. hoher Gasverbrauch, ungenügende Precursorausnutzung und Reproduzierbarkeit. Durch eine Optimierung der eingesetzten Plasmaquellen und Reaktoren, basierend auf grundlegenden Untersuchungen der Plasmaprozesse sowie der Strömungsdynamik, kann die Performance dieser innovativen Technologie einschließlich der Ressourceneffizienz deutlich verbessert werden. Mit diesem Ansatz soll die Grundlage für eine weitere Verbreitung der AP-Technologie in die Bereiche Glasindustrie, Kunststofftechnik, Stahlindustrie, Photovoltaik, Biotechnologie geschaffen werden.