Projektpartner

Institut für Oberflächentechnik (IOT), TU Braunschweig

Prof. Dr. Claus-Peter Klages (TP1)

Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V. Greifswald (INP)

Prof. Dr. Jürgen Röpcke, PD Dr. Detlef Loffhagen, Dr. Rüdiger Foest (TP2 / TP3)

Inst. für Grenzflächen- verfahrenstechnik und Plasmatechnologie (IGVP), Uni Stuttgart

Prof. Dr. Ulrich Stroh, Dr. Matthias Walker, Dr. rer. nat. Martina Leins (TP4)

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST), Braunschweig

Dr. Michael Thomas (TP6)

Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung (IFAM), Bremen

Dr. Uwe Lommatzsch (TP7)

Institut für Fertigungstechnik (IF), TU Dresden

Prof. Dr. Eckhard Beyer (TP8)

Anorganische Chemie I (AC I), TU Dresden

Prof. Dr. Stefan Kaskel (TP9)