Projektschwerpunkte

DFG-Projekte: Grundlagenuntersuchungen an AP-Quellen

Innerhalb der Grundlagen orientierten Teilprojekte (TP1 bis TP4) werden über die strukturierte Analyse von AP-Plasmaquellen wichtige Messergebnisse zur Steigerung des Prozessverständnisses bzw. zur Verifizierung von Simulati­onsrechnungen generiert.

AiF-Projekte: Atmosphärendruck-Plasma-Applikationen

Eine optimale Precursoraktivierung ist eine wesentliche Voraussetzung für die effiziente Ausnutzung der zugeführten Prozessgase. Hinsichtlich der optimalen Vermischung von Plasma- und Precursorgas stellen die Projektpartner der applikationsorientierten Teilprojekte (TP6 bis TP9) ihre Erkenntnisse den anderen Partnern zur Verfügung, wodurch Synergieeffekte für eine verbesserte Gasführung und -ausnutzung erwartet werden.