Teilprojekt 7

Steigerung der Schichtabscheiderate und Schichtqualität durch Optimierung der Gasströmung und Precursoreinspeisung von Plasmajet-Quellen

Nicht-thermische Plasmajet-Quellen bei Atmosphärendruck werden seit einigen Jahren industriell in großer Zahl zur Vorbehandlung (Aktivierung) polymerer und metallischer Werkstoffe eingesetzt. Seit kurzer Zeit können mit diesen Plasmajet-Quellen auch funktionale Beschichtungen durch Plasmapolymerisation bei Atmosphärendruck abgeschieden werden. Die weitere Verbreitung dieser Beschichtungstechnologie wird jedoch durch hohen Gas- und Chemikalienverbrauch oder Partikelbildung teilweise gehemmt. Im Teilprojekt 7 wird untersucht, welchen Einfluss Gasströmung und Precursoreinspeisung auf die Schichtabscheidung haben. Dabei konzentrieren sich die Untersuchungen auf nicht-thermische Plasmajets. Im Einzelnen soll untersucht werden, wie es zur Partikelbildung kommt und Lösungswege zur Reduktion des Chemikalienverbrauchs aufgezeigt werden.

Atmosphärendruck-Plasmajettechnik

Atmoshpärendruck-Plasmajettechnik
© Fraunhofer IFAM Bremen

Atmoshpärendruck-Plasmajettechnik

Anwendungen

  • Feinreinigung
  • Vorbehandlung / Aktivierung
  • Beschichtung

Funktionale Schichten

  • Haftvermittlung
  • Korrosionsschutz
  • Anti-Eis-Beschichtung
  • Biologisch aktive Oberflächen
  • Anti-Haft-Schichten

Projektziele, Vorgehensweise, Ergebnisse

Gesamt-Projektziele

  • Welchen Einfluss haben Prozess-/Anlagenparamter auf Schichtabscheiderate?
  • Welche Einflussfaktoren gibt es für Partikelbildung?

Vorgehensweise

  • Untersuchung der Strömungsbedingungen in Zusammenhang mit geeigneter Schichtanalytik
  • Untersuchung der Vorgänge bei der Plasmapolymerisation bei Atmosphärendruck
    (auch in Zusammenarbeit mit den anderen TP)

Ergebnisse

Die Ergebnisse des Vorhabens können voraussichtlich von kmU entlang der gesamten Prozesskette genutzt werden und sind für alle Anwender der Plasmatechnik von Bedeutung.