Projektziele

Plasmafackeln im Mikrowellen-Reaktor (Ar/N2)
© Foto Fraunhofer IWS Dresden

Plasmafackeln im Mikrowellen-Reaktor (Ar/N2)

  • Experimentelle Erfassung von im Atmosphärendruck-Plasma gebildeten atomaren und molekularen Spezies sowie Simulation der Strömungsdynamik und der plasmachemischen Prozesse zur Bilanzierung der Gasphasen- und Oberflächenreaktionen
  • Entwicklung von reduzierten chemischen Modellen der plasmabasierten CVD-Abscheidung für ausgewählte, praxisrelevante Precursoren
  • Entwicklung von konvektiv und elektrisch gekoppelten Plasmasimulationsrechnungen
  • Reduzierung des Gasverbrauchs und Erhöhung der Ausnutzung der Ausgangsstoffe durch den Einsatz von Plasmaquellen und Reaktoren, welche durch die Anwendung fluiddynamischer Simulationen eine optimierte Geometrie aufweisen
  • Erhöhung der Prozessstabilität durch Verwendung von Spülgasströmen zur Vermeidung von Kontaminationen und den Übergang zu Remote-Systemen
  • Entwicklung von Methoden zum Gasrecycling, speziell für hohe Gasdurchsätze, für eine Umwelt schonende und wirtschaftliche Abgasbehandlung